安徽凌光红外科技有限公司近日宣布，其自主研发的商用激光诱导电阻变化设备——LaserSight系列正式发布，标志着我国在电性失效分析领域实现关键技术突破。该设备可精准定位金属互联缺陷、金属与半导体短路等问题，广泛应用于集成电路、功率器件及光电器件制造领域，性能指标达到国际先进水平。
作为电性失效分析的三大标准手段之一，激光诱导电阻变化技术（OBIRCH）与热发射、光发射技术并驾齐驱。该技术通过激光束扫描样品表面，利用电阻变化精准定位缺陷位置，在半导体制造中具有不可替代的作用。然而，自1997年日本企业首次推出商业化设备以来，全球市场长期被日本H公司和美国F公司垄断，两家企业合计占据超过80%的市场份额。
凌光红外此次推出的LaserSight系列设备，成功打破国外技术壁垒。据公司技术负责人介绍，该设备采用自主研发的光学系统与信号处理算法，在空间分辨率、定位精度等核心参数上达到进口旗舰设备水平。截至目前，已完成多台设备交付，客户反馈显示设备运行稳定，能够有效识别金属互联层中的微米级缺陷。
与同类产品相比，LaserSight系列设备展现出显著优势。针对金属互联缺陷检测场景，其灵敏度较传统InGaAs探测器提升30%，同时具备更强的抗干扰能力。在功率器件检测中，设备可清晰分辨金属与半导体界面的短路点，为工艺改进提供可靠数据支持。目前，该系列已形成完整产品线，覆盖从研发到量产的全流程检测需求。
凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化研发。公司核心团队由半导体设备领域资深专家组成，已成功突破锁相红外热像仪、微光显微镜等多项"卡脖子"技术。此次激光诱导定位系统的推出，进一步完善了公司在电性失效分析领域的产品布局，为国内半导体产业自主可控发展提供重要支撑。
