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国产激光诱导电阻变化设备发布 填补空白打破国外长期垄断局面

2025-12-09 01:1619700

在高端实验室检测仪器国产化领域,安徽凌光红外科技有限公司(以下简称“凌光红外”)取得重大突破。近日,该公司正式发布商用激光诱导电阻变化设备——LaserSight系列,成功实现国产电性失效分析设备Thermal/EMMI/Obirch(TIVA)全系列自主化,填补了国内在该领域的空白。

OBIRCH(Optical Beam Induced Resistance Change)技术,中文名激光诱导电阻变化,是电性失效分析行业的三大标准定位手段之一,与热发射(Thermal Emission)和光发射(Photon Emission)技术并列。该技术通过激光束诱导材料电阻变化,精准定位金属互联缺陷、金属/半导体短路等问题,广泛应用于IC、功率器件、光电器件等制造领域。自1997年日本企业发布首台商业化OBIRCH设备以来,全球市场长期被日本H公司和美国F公司垄断,两家企业占据超80%的市场份额,设备技术壁垒高,国产化需求迫切。

凌光红外此次推出的LaserSight系列设备,标志着国产激光诱导电阻定位技术从“跟跑”到“并跑”的跨越。据公司介绍,该系列设备性能对标进口旗舰机型,核心参数达到国际先进水平,可满足金属互联缺陷、金属/半导体短路等复杂场景的检测需求。截至2025年12月,LaserSight系列已完成多台销售与交付,设备运行稳定,客户反馈良好,成功打破国外厂商的技术垄断。

与InGaAs和Thermo等传统设备相比,LaserSight系列在金属互联缺陷检测、半导体短路分析等场景中表现更优,尤其适用于高精度、高复杂度的电性失效分析任务。以LaserSight 100为例,其核心参数包括:激光波长1064nm、定位精度≤1μm、扫描速度≥10mm/s,可实现亚微米级缺陷的快速定位,为芯片制造、功率器件研发等领域提供了关键检测工具。

凌光红外成立于2021年12月,专注于高端实验室检测仪器的国产化研发,核心产品包括锁相红外热像仪、微光显微镜、激光诱导定位系统等。公司以解决“卡脖子”技术问题为目标,通过自主研发与技术攻关,逐步构建起覆盖电性失效分析、热成像检测、微光探测等领域的完整产品线。此次LaserSight系列的发布,进一步巩固了其在高端检测仪器市场的竞争力,为国内半导体、光电等产业的高质量发展提供了有力支撑。

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